Recubrimiento antirreflejos
SEMCO Technologies TWYN es un sistema PECVD directo de tipo por lotes compacto para procesos puros
de recubrimiento antirreflectante y pasivación en la fabricación de células solares de silicio.
El plasma de baja frecuencia (40 KHz) se genera directamente y se limita a los barcos de placas de
grafito paralelos horizontales que soportan suavemente las obleas (sin marcas y sin tiempo de inactividad
debido a un mantenimiento intenso). El diseño de multitubo garantiza un funcionamiento 24/7 incluso cuando
las cámaras de reacción están en sintonía o en modo de carga / descarga. El transporte de la oblea está
totalmente automatizado desde casetes o transportadores en línea hasta tubos y parte posterior. SEMCO
Technologies TWYN es la solución preferida para las tecnologías de células solares sin PERC y PID y
frece todos los medios para una producción completa las 24 horas, los 7 días de la semana en una plataforma
e horno vertical compacta, fácil de mantener, segura y robusta.
Caracteristicas
✔ Hasta 4 cámaras de reacción de metal verticales (280 posiciones de obleas por cámara).
✔ Bajo tiempo de inactividad de mantenimiento debido al sistema de plasma directo.
✔ Orientación horizontal de la oblea (boca arriba) sin efecto de sombra desde los pasadores de soporte.
✔ Secuencias de proceso variables para capas apiladas y graduadas (SiNx, SiOx, SiOxNy, etc.).
✔ Black cell ARC obediente.
✔ Solución de proceso libre de PID.
✔ Proporciona excelente pasivación de superficie y volumen.
✔ Limpieza de plasma in situ y capacidades de recocido posterior a la deposición.
✔ 100% de inspección de capacidad de obleas entrantes y salientes.
✔ Rendimiento hasta 2100 obleas / h (tamaño 156 x 156 mm).
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