Difusión de presión reducida
SEMCO Technologies LYDOP es el estándar de la industria para la elaboración de emisores de fósforo y boro
con valores de resistencia de hoja de registro y uniformidades que utilizan los procesos de difusión POCl3
y BCl3..
Las condiciones operativas de reducción de presión en los tubos evitan la sobresaturación de las fuentes
de dopaje y dan como resultado una distribución de flujo más homogénea, que ahorra gases de proceso y
produce células solares de mejor calidad. LYDOP de SEMCO Technologies presenta múltiples capacidades de
proceso y ofrece todos los medios para una producción completa las 24 horas, los 7 días de la semana en
una plataforma de horno horizontal compacta, fácil de mantener, segura y robusta. Su control térmico de
cinco zonas proporciona una excelente uniformidad Rs en cualquier tipo de emisor. Cuanto mayor sea la
homogeneidad, mayor será el rendimiento, ya que las obleas se pueden envasar una detrás de otra en los
barcos de transporte. Con una capacidad de 1.400 obleas por tubo, LYDOP es, con mucho, la plataforma de
difusión más productiva del mercado.
Caracteristicas
✔ Horno de difusión horizontal de presión reducida.
✔ Hasta 5 cámaras de reacción de tubo de cuarzo apiladas.
✔ Sin interferencia térmica entre diferentes tubos.
✔ Manejo de POCl3 y BCl3 con recarga automática desde los sistemas centrales de despacho.
✔ Menor consumo de gases de proceso y precursores en comparación con las máquinas de competencia.
✔ Herramientas de caracterización e inspección in situ.
✔ Transporte de obleas totalmente automatizado desde casetes o transportadores en línea a tubos y a la parte posterior.
✔ Rendimiento insuperable con hasta 1.400 obleas por tubo en carga espalda con espalda.
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