Oxidación a presión reducida
El sistema de oxidación térmica LYTOX de SEMCO Technologies es el resultado de años de experiencia en
tecnología de presión reducida y hornos de pasivación en tubos usados en la industria de los
semiconductores.
La flexibilidad del sistema LYTOX permite la elaboración de capas de pasivación de SiOx (óxido de silicio)
a través de la oxidación térmica seca o húmeda, así como el recocido por daños posteriores a la
implantación. La oxidación en seco que da como resultado una mayor densidad de óxido y voltaje
de ruptura se ve favorecida por la oxidación húmeda para la pasivación de superficie de las células
solares de silicio de alta eficiencia y condujo a las eficiencias de conversión más altas reportadas
hasta ahora. La elaboración de capas de óxido muy delgadas y estables se efectúa a temperaturas
de aproximadamente 800 ° C bajo atmósfera de oxígeno puro con parámetros de proceso ajustados
para ralentizar la velocidad de crecimiento. La alta pureza del entorno de proceso se garantiza
mediante la preparación del tubo de proceso con oxígeno y Trans-LC a temperaturas por debajo de
800°C. SEMCO Technologies LYTOX presenta todos los medios para una producción completa las 24
horas del día, los 7 días de la semana en una plataforma de horno horizontal compacta, fácil de
mantener, segura y robusta.
Caracteristicas
✔ Horno de oxidación térmica horizontal de presión reducida.
✔ Hasta 5 cámaras de reacción de tubo de cuarzo apiladas.
✔ Sin interferencia térmica entre diferentes tubos.
✔ Cumple con los procesos de oxidación en seco (sistema de antorcha) y mojado (vapor de agua DI).
✔ Manejo de Trans-LC / DCE con recarga automática desde el sistema central de despacho.
✔ Transporte de obleas totalmente automatizado desde casetes o transportadores en línea a tubos y a la parte posterior.
✔ Rendimiento insuperable con hasta 1.400 obleas por tubo en carga espalda con espalda.
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